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聚焦離子束（FocusedIonBeam，F(xiàn)IB）是微納材料芯片失效分析的核心技術(shù)裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10億個(gè)以上的功能單元）、多功能化（在多種外場(chǎng)條件下工作），越來(lái)越多的材料微結(jié)構(gòu)研究、器件研發(fā)涉及聚焦離子束。本書(shū)從聚焦離子束的結(jié)構(gòu)原理出發(fā)，緊密聯(lián)系應(yīng)用與實(shí)踐，對(duì)聚焦離子束在失效分析中的應(yīng)用和操作，結(jié)合案例進(jìn)行詳解，以期對(duì)高校研究生、高年級(jí)本科生和高科技企業(yè)研發(fā)人員的相關(guān)學(xué)習(xí)和培訓(xùn)起到指導(dǎo)作用。