本書主要針對可見光、紅外和太赫茲等譜域的折射與衍射微光學結構，開展新的設計、工藝制作和測試評估方法的研究。重點論述了以折射和衍射微光學積分變換為基礎，有效出射可見光、紅外及太赫茲多譜圖像與波前的基礎理論和基本方法，建立了基于衍射相位精細構建在設計、仿真、工藝、測試與評估等方面的數(shù)據(jù)和方法體系。
本書總結了作者及其研究團隊過去10余年，針對可見光、紅外以及太赫茲等譜域的折射和衍射微光學結構，開展新的設計和工藝制作方法方面的研究工作。重點論述了以折射和衍射微光學積分□換為基礎的，能有效出射可見光、紅外及太赫茲譜域的多譜光學強度圖像與波前的基礎理論和基本方法；建立了微光學圖像和波前結構的設計、仿真、工藝、性能測試與評估等的有效手段和數(shù)據(jù)體系：獲取了多項關鍵性的參數(shù)指標。通過對光學強度圖像和波前在對比度、亮度、灰度、頻譜和□動特征等方面的快速（實時）調控，實現(xiàn)了逼真出射層次豐富、細節(jié)清晰完整、圖像參量易于控制、生成區(qū)域大、作用距離遠、衍射效率和能量集中度較高的強度圖像與波前。其主要研究工作如下：①建立了以折射和衍射微光學積分□換為基礎、以微納米特征尺寸微光學結構為執(zhí)行結構的，能出射可見光、紅外及太赫茲譜域的多譜圖像與復雜波前的基礎理論；②獲得了微納衍射相位結構的基本設計方法、制作工藝流程、關鍵參數(shù)以及圖像出射效能的測試和評估方法；③在圖像和波前仿真、光電對抗、與多種光學光電功能結構（包括CCD和CMOS光敏芯片）、與光電存儲光學頭匹配的折射和衍射物鏡研制，以及太赫茲圖形、圖像和波前的生成與發(fā)射方面所獲得的突破。
本書共8章：□□章綜述了所采用的基礎衍射積分□換理論；第□章討論了基于單步光刻和KOH濕法刻蝕工藝制作衍射微光學結構的基本方法；第3章討論了將單步光刻和KOH濕法刻蝕工藝用于發(fā)展微光學波前結構的基本問題；第4章詳細討論了將所發(fā)展的衍射微光學結構用于相干激光束的衍射整形與頻譜空間分離等方面的基本問題；第5章主要討論了衍射微光學結構的工藝制作、測試與性能評估問題；第6章討論了將所發(fā)展的微光學結構的設計、制作、測試與評估方法，向太赫茲頻域延伸所涉及的基本問題；第7章主要討論了所發(fā)展的基本方法在特殊的紅外和太赫茲波前結構應用方面的關鍵問題與特征；第8章主要開展了硅基非球面光學折射結構方面的基礎問題研究。
第一章 光波衍射積分□換的基礎理論與基本方法
1．1 光衍射圖像生成
1．□ 衍射微光學結構
1．3 設計實例
1．4 小結
第□章 衍射微光學圖像生成與發(fā)射結構
□．1 單步光刻與硅KOH濕法蝕刻
□．□ 可見光圖像發(fā)射效能評估
□．3 小結
第3章 折射微光學波前出射結構
3．1 問題與挑戰(zhàn)
3．□ 折射微光學波前出射結構的工藝制作方法
3．3 可見光譜域光學性能測試與評估
3．4 小結
第4章 相干光波的衍射整形與頻譜空間分離
4．1 基礎理論與基本方法
4．□ 常規(guī)近場與遠場衍射積分□換
4．3 衍射結構設計算法
4．4 基于遠場衍射的頻譜空間分離
4．5 準連續(xù)相位分布的衍射微光學結構
4．5．1 光程差算法
4．5．□ GS算法
4．5．3 模擬退火算法
4．5．4 時域有限差分法
4．5．5 基于角譜的串行迭代算法
4．6 衍射微光學結構設計
4．7 毫米級近場的衍射積分□換
4．8 小結
第5章 構建衍射微光學結構執(zhí)行復雜光束□換
5．1 衍射相位結構
5．□ 硅的各向異性KOH濕法蝕刻
5．3 測試與分析
5．4 具有準連續(xù)相位分布的衍射微光學波前結構
5．5 衍射微光學遠場光束整形
5．5．1 單步電子束曝光
5．5．□ 測試、分析與討論
5．6 適用于毫米級近場光束整形的衍射微光學結構
5．6．1 關鍵工藝流程
5．6．□ 特征屬性表征與測試
5．6．3 常規(guī)光學性能測試與評估
5．7 小結
第6章 太赫茲圖像的光衍射發(fā)射
6．1 太赫茲波衍射相位結構與光刻版圖
6．□ 硅基太赫茲波衍射相位結構濕法蝕刻
6．3 典型特征評估
6．4 衍射相位結構設計與實現(xiàn)
6．4．1 KOH濕法蝕刻
6．4．□ 測試、討論與分析
6．5 小結
……
第7章 紅外與太赫茲波衍射微光學波前結構
第8章 硅基非球面光學折射結構
參考文獻
書單推薦
