電子顯微學和電子束微分析、掃描探針顯微術(shù)，以及和電子束微分析關(guān)聯(lián)較多的表面分析、離子束微分析和X射線束微分析。在電子束微分析中，介紹了固體中入射電子的散射、掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）中的微分析、固體中電子散射的蒙特卡羅模擬、TEM的像差和分辨率、電子顯微像的各種襯度機制、高分辨透射電子顯微像的相位襯度傳遞函數(shù)理論和原子級（亞埃級）分辨率球差校正TEM的進展。掃描探針顯微術(shù)（包括掃描隧道電子顯微術(shù)和多種原子力顯微術(shù)）異軍突起，分辨率在20世紀80年代前就達到了原子級。分析表面的電子顯微術(shù)包括低能電子顯微術(shù)、光電子（發(fā)射）顯微術(shù)、反射電子顯微術(shù)和俄歇電子顯微術(shù)。離子束微分析中，介紹了入射離子束在固體中的散射、盧瑟福背散射譜、聚焦離子束儀和二次離子質(zhì)譜。X射線束微分析中，介紹了同體對X射線的吸收、由此而來的光電子能譜、隨后的弛豫過程引起的俄歇電子能譜和X射線熒光譜。
前言
緒論
0.1 微分析學科的發(fā)展
0.2 學術(shù)交流的發(fā)展
0.3 學科期刊的發(fā)展
0.4 本書內(nèi)容的安排
參考文獻
第1章 有關(guān)的基礎(chǔ)物理知識
1.1 有關(guān)的原子物理知識
1.2 有關(guān)的固體物理知識
1.3 有關(guān)的晶體衍射物理知識
參考文獻
第2章 入射電子的彈性散射和非彈性散射
2.1 處理入射電子散射的量子力學方程
2.2 入射電子的微分彈性散射截面
2.3 入射電子的非彈性散射
2.4 原子對電子的散射截面和散射平均自由程
2.5 阻止本領(lǐng)和非彈性散射截面
2.6 介電函數(shù)方法
2.7 低能電子的非彈性散射平均自由程
2.8 低能電子的非彈性散射和能帶結(jié)構(gòu)的閾值效應
參考文獻
第3章 電子束顯微分析
3.1 掃描電子顯微鏡的主體結(jié)構(gòu)與成像原理
3.2 場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率
3.3 掃描電子顯微鏡的信號
3.4 SEM中二次電子和背散射電子信號的采集及其能譜
3.5 透射電子顯微鏡（TEM）中顯微像和衍射圖樣的獲得
3.6 透射電子顯微鏡（TEM）的主要部件和成像模式
3.7 掃描電子顯微像的形貌襯度
3.8 SEM中晶體取向的測定
3.9 X射線能譜（EDS）和波譜（WDS）分析
3.10 SEM中厚樣品微區(qū)成分分析方法
3.11 TEM中薄膜微區(qū)成分EDS定量分析方法
3.12 薄膜微區(qū)成分的電子能量損失譜（EEl。S）定量分析
3.13 微區(qū)成分分析的空間分辨率和探測限
參考文獻
第4章 固體中電子散射的蒙特卡羅模擬
4.1 蒙特卡羅方法簡介
4.2 蒙特卡羅方法的基本原理和一般步驟
4.3 由已知概率分布進行的隨機抽樣
4.4 隨機數(shù)與贗隨機數(shù)
4.5 蒙特卡羅模擬固體中的電子散射
4.6 蒙特卡羅模擬固體中電子散射的一些結(jié)果
參考文獻
第5章 電子顯微像的像差和分辨率
5.1 成像原理中常用的傅里葉變換和卷積公式
5.2 透射電子束成像
5.3 磁透鏡的像差
5.4 瑞利判據(jù)決定的顯微像的分辨率
5.5 由電子束直徑?jīng)Q定的掃描電子顯微鏡的分辨率
5.6 圖像襯度（對比度）決定的顯微鏡分辨率
5.7 信息通過量密度決定的顯微鏡分辨率
5.8 分辨率的實驗測量
5.9 離子顯微鏡的分辨率
參考文獻
第6章 電子顯微像的襯度
6.1 電子束的相干性和衍射振幅襯度
6.2 晶態(tài)和非晶態(tài)樣品的襯度
6.3 衍射（振幅）襯度像
6.4 樣品的質(zhì)厚襯度和STEM中的2襯度
6.5 SEM中的各種不相干信號的襯度
參考文獻
第7章 高分辨透射電子顯微像
7.1 高分辨電子顯微像（HREM）的形成
7.2 高分辨像形成過程中的襯度傳遞函數(shù)
7.3 高分辨像的點分辨率和信息分辨率
……
第8章 分析表現(xiàn)的電子顯微術(shù)
第9章 掃描探針顯微術(shù)
第10章 入射離子束和固體的作用
第11章 入射X射線束和固體的作用
7．8 電子全息術(shù)高分辨顯微像
全息術(shù)高分辨像利用全息術(shù)把高分辨像的振幅和相位同時記錄下來，避免了一般高分辨像的相位失落問題，這是電子顯微學的重要發(fā)展方向之一。
同時記錄顯微圖像的振幅和相位的全息概念是1948年Gabor首先提出來的，他還提出可以通過校正電子全息圖中的像差以提高分辨率。20世紀50年代中期有人在電子顯微鏡中進行了嘗試，由于當時的電子源的相干性不夠，分辨率未能達到10nm以下。20世紀60年代激光發(fā)明后全息術(shù)在光學領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，在此背景下1971年Gabor獲得諾貝爾物理學獎。1968年Crewe發(fā)展了場發(fā)射電子源，使它的亮度提高了幾個量級，從而可以顯著減小電子源對物點的半張角，同時場發(fā)射源的能量漲落也顯著減小，這兩個因素使相干性大為改進，為電子顯微全息術(shù)提供了技術(shù)基礎(chǔ)。經(jīng)過Tonomura和I．ichte等人的努力，電子顯微全息術(shù)的分辨率達到0．2～0．1 nm，即達到高分辨電子顯微術(shù)的原子級的分辨率水平。但是，電子顯微全息術(shù)的操作過程復雜，不如最近10年發(fā)展起來的球差校正電子顯微術(shù)。
7．8．1 電子全息術(shù)
全息術(shù)高分辨像首先將相干電子波一分為二，一束通
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