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微電子制造技術(shù)實驗教程 
定 價：29 元 叢書名：微電子專業(yè)實驗教材系列叢書
當(dāng)前圖書已被 1 所學(xué)校薦購過！
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9 7 4 8 4 7 4 0 9 3 4 0 3 讀者對象:本書可作為高等院校電子及相關(guān)專業(yè)的實驗教材, 也可作為教師和一般微電子制造工程技術(shù)人員的參考資料
本書是面向微電子及相關(guān)專業(yè)的試驗教程, 以微電子器件制造過程為主線, 重點闡述學(xué)生在微電子制造技術(shù)學(xué)習(xí)中必須掌握的基礎(chǔ)知識和試驗方法。第1、2章介紹清洗、氧化、擴(kuò)散、離子注入、光刻、刻蝕、沉積等相關(guān)制造工藝的基礎(chǔ)知識和基礎(chǔ)試驗, 詳細(xì)闡述各項單步工藝的試驗原理、試驗設(shè)備、試驗方法和步驟。第3章介紹微電子器件制造過程中的物理性能測試試驗和電學(xué)性能測試試驗。第4章介紹二極管、肖特基二極管、三極管、CMOS管、集成電阻器等器件的制造以及集成運(yùn)算放大器的參數(shù)測試、邏輯IC功能和參數(shù)的測試兩個綜合實驗。
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