《真空技術（光電科學與工程專業(yè)規(guī)劃教材）》共分7章，介紹了氣體分子在空間的行為、固體-氣體界面現(xiàn)象等真空物理基本理論，以及真空的獲得、真空的總壓強測量、分壓強測量、真空檢漏和真空系統(tǒng)設計等真空技術內容。
《真空技術/光電科學與工程專業(yè)規(guī)劃教材》可作為大專院校相關專業(yè)的教材及參考書，也可供從事真空技術研究、應用的工程技術人員參考。
緒論
0.1 真空的特點及真空技術的基本內容
0.2 真空度的單位及真空區(qū)域的劃分
0.3 真空技術的發(fā)展歷史及其在科學研究和生產中的作用
第1章 氣體分子在空間的行為
1.1 氣體分子的基本特性
1.1.1 氣體基本定律
1.1.2 氣體分子運動論
1.1.3 氣體的壓強
1.1.4 氣體分子的速率分布
1.1.5 平均自由程
1.1.6 自由程長度分布律
1.1.7 氣體分子的有效直徑和碰撞截面
1.1.8 電子碰撞分子引起的電離 緒論
0.1 真空的特點及真空技術的基本內容
0.2 真空度的單位及真空區(qū)域的劃分
0.3 真空技術的發(fā)展歷史及其在科學研究和生產中的作用
第1章 氣體分子在空間的行為
1.1 氣體分子的基本特性
1.1.1 氣體基本定律
1.1.2 氣體分子運動論
1.1.3 氣體的壓強
1.1.4 氣體分子的速率分布
1.1.5 平均自由程
1.1.6 自由程長度分布律
1.1.7 氣體分子的有效直徑和碰撞截面
1.1.8 電子碰撞分子引起的電離
1.2 碰撞頻度與余弦定律
1.2.1 碰撞頻度
1.2.2 余弦定律
1.3 氣體中的輸運現(xiàn)象
1.3.1 常壓氣體中的輸運現(xiàn)象
1.3.2 低壓氣體中的輸運現(xiàn)象
1.4 熱流逸現(xiàn)象
1.4.1 穩(wěn)定非平衡狀態(tài)下的氣體參數(shù)
1.4.2 熱流逸現(xiàn)象
1.5 氣體在管道中的流動
1.5.1 氣流狀態(tài)流量
1.5.2 氣體在管道中的黏滯性流動
1.5.3 氣體在管道中的分子性流動
1.5.4 氣體通過孔眼的流動
1.6 流導傳輸幾率
1.6.1 流導
1.6.2 長圓管的流導
1.6.3 孔眼的流導
1.6.4 短圓管的流導
1.6.5 傳輸幾率
習題
第2章 固體一氣體界面現(xiàn)象
2.1 氣體分子在固體表面的吸附
2.1.1 固體表面對氣體分子的作用力
2.1.2 物理吸附
2.1.3 化學吸附
2.2 吸附過程動力學
2.2.1 吸附幾率和吸附速率
2.2.2 吸附時間
2.3 表面脫附
2.3.1 熱脫附
2.3.2 電子誘導脫附
2.3.3 其他類型的脫附
2.4 平衡吸附量
2.4.1 平衡吸附方程
2.4.2 物理吸附等溫線
2.4.3 化學吸附等溫線
2.4.4 混合氣體的吸附
2.5 吸附分子在固體表面的遷移
2.6 氣體在固體中的溶解、擴散和滲透
2.6.1 溶解
2.6.2 擴散和滲透
2.7 材料的放氣率
2.8 材料的蒸氣壓、蒸發(fā)率及化合物的分解壓強
2.8.1 材料的蒸氣壓
2.8.2 蒸發(fā)率
2.8.3 化合物的分解壓強
習題
第3章 真空獲得
3.1 概述
3.1.1 真空泵的分類
3.1.2 真空泵的基本參數(shù)
3.2 機械真空泵
3.2.1 旋片式機械真空泵
3.2.2 旋片式機械真空泵的特性和運用
3.2.3 無油機械真空泵
3.3 油擴散泵
3.3.1 擴散泵的原理和結構
3.3.2 擴散泵的工作特性
3.3.3 擴散泵的運用
3.4 低溫吸附泵
3.4.1 分子篩的特性
3.4.2 低溫吸附泵的原理和結構
3.4.3 低溫吸附泵的特性和運用
3.5 鈦升華泵
3.5.1 鈦升華泵的原理和結構
3.5.2 鈦升華泵的特性與運用
3.6 濺射離子泵
3.6.1 濺射離子泵的原理和結構
3.6.2 濺射離子泵的工作特性
3.6.3 濺射離子泵的運用
3.7 渦輪分子泵
3.7.1 渦輪分子泵的原理和結構
3.7.2 渦輪分子泵的工作特性
3.7.3 渦輪分子泵的運用
3.8 低溫冷凝泵
3.8.1 低溫冷凝泵的原理和結構
3.8.2 低溫冷凝泵的工作特性
3.9 真空泵的選擇
習題
第4章 真空的總壓強測量
4.1 概述
4.2 絕對真空計
4.2.1 彈性變形真空計
4.2.2 電容薄膜真空計
4.2.3 U形真空計與壓縮真空計
4.2.4 壓敏電阻真空計
4.3 相對真空計
4.3.1 熱傳導真空計
4.3.2 電離真空計
4.4 真空測量技術
4.4.1 真空計的選擇及運用
4.4.2 真空計的校準
習題
第5章 真空的分壓強測量
5.1 質譜儀的結構和參數(shù)
5.2 磁偏轉質譜儀
5.3 四極場質譜儀
5.4 識譜技術
5.5 質譜分析技術的應用
習題
第6章 真空檢漏
6.1 概述
6.1.1 真空檢漏的意義
6.1.2 真空系統(tǒng)是否有漏孔的判斷
6.1.3 漏孔的定義
6.1.4 容許漏率
6.2 真空檢漏的原理
6.2.1 壓強差的利用
6.2.2 示漏氣體與探測器
6.2.3 檢漏的響應過程
6.2.4 檢漏方法的性能指標
6.3 高壓檢漏法
6.4 真空檢漏法
6.4.1 高頻火花檢漏法
6.4.2 真空計檢漏法
6.5 氦質譜檢漏法
6.5.1 氦質譜檢漏儀的原理
6.5.2 氦質譜檢漏儀的主要參數(shù)
6.5.3 氦質譜檢漏技術
6.6 真空檢漏技術
習題
第7章 真空系統(tǒng)
7.1 概述
7.2 真空系統(tǒng)的材料
7.2.1 結構材料
7.2.2 輔助結構材料
7.2.3 真空密封材料
7.3 真空閥門
7.4 真空系統(tǒng)的制造和組裝技術
7.4.1 不可拆連接
7.4.2 可拆卸連接
7.5 典型真空系統(tǒng)
7.5.1 低真空系統(tǒng)
7.5.2 高真空系統(tǒng)
7.5.3 超高真空系統(tǒng)
7.6 真空系統(tǒng)的計算
7.6.1 真空系統(tǒng)的抽氣方程
7.6.2 主泵和前級泵的配合
7.6.3 真空系統(tǒng)中壓強的分布
7.6.4 真空系統(tǒng)的真空度和抽氣時間的估算
習題
參考文獻
書單推薦
