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微電子技術創(chuàng)新與實踐教程
本書包括了第3代半導體材料、新型半導體器件、設計工具與設計方法、集成電路工藝技術等內容,涵蓋了從半導體材料、器件、設計到工藝技術,立足微電子技術前沿的最新技術成果,以培養(yǎng)創(chuàng)新實踐能力為主線,將專業(yè)教育與創(chuàng)新實踐教育有機融合,以培養(yǎng)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)精神為核心,為微電子專業(yè)提供了最新的技術成果,是微電子專業(yè)的創(chuàng)新與實踐的最佳指導書。
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