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本書涵蓋等離子體與功能電介質(zhì)的基本理論及其在多個領(lǐng)域中的具體應(yīng)用。全書共7章。第1章為緒論，對等離子體和功能電介質(zhì)進行了簡要的介紹；第2章為功能電介質(zhì)的等離子體改性，介紹了等離子體技術(shù)與功能電介質(zhì)在特高壓輸電中的應(yīng)用；第3章為功能電介質(zhì)極化及老化，分析了功能電介質(zhì)的極化和老化現(xiàn)象；第4章為功能電介質(zhì)及傳感技術(shù)，介紹了傳感器的基本原理及應(yīng)用；第5章為等離子體仿真技術(shù)，介紹了現(xiàn)有的等離子體數(shù)值模型；第6章和第7章分別為半導(dǎo)體中的等離子體刻蝕和等離子體放電催化，展示了等離子體與功能電介質(zhì)在半導(dǎo)體及催化領(lǐng)域的應(yīng)用。