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現(xiàn)代表面處理技術(shù)
本書主要敘述了涂層與薄膜材料沉積制備的現(xiàn)代材料表面處理技術(shù)與應用,著重以表面密切相關(guān)的等離子體、電子束、激光束、離子束等先進科學技術(shù)為基礎(chǔ),結(jié)合涂層材料、薄膜材料的特點,涉及表面科學中與表面相關(guān)的基本理論,以及材料表面改性、先進的薄膜氣相沉積技術(shù)與表面復合技術(shù),并扼要介紹了表面微細加工技術(shù)和表面檢測分析研究方法等內(nèi)容。
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