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本書從微機電系統(tǒng)制造、集成、應用角度出發(fā)，深入介紹與探討了微機電系統(tǒng)技術與器件在航空航天推進系統(tǒng)技術領域的結合點，圍繞各類具有代表性航空航天微機電系統(tǒng)器件與系統(tǒng)，詳細論述其發(fā)展歷程、關鍵技術、現(xiàn)狀與應用。同時介紹了傳統(tǒng)IC技術的光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學機械拋光等工藝，以及針對于所要實現(xiàn)的復雜微結構發(fā)展出的新工藝，如體微機械加工工藝、表面微機械加工工藝、LIGA工藝和微機械組裝技術等。