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本書從微機電系統(tǒng)制造、集成、應(yīng)用角度出發(fā)，深入介紹與探討了微機電系統(tǒng)技術(shù)與器件在航空航天推進系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域的結(jié)合點，圍繞各類具有代表性航空航天微機電系統(tǒng)器件與系統(tǒng)，詳細論述其發(fā)展歷程、關(guān)鍵技術(shù)、現(xiàn)狀與應(yīng)用。同時介紹了傳統(tǒng)IC技術(shù)的光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學(xué)機械拋光等工藝，以及針對于所要實現(xiàn)的復(fù)雜微結(jié)構(gòu)發(fā)展出的新工藝，如體微機械加工工藝、表面微機械加工工藝、LIGA工藝和微機械組裝技術(shù)等。