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本書系統(tǒng)地介紹了電容式微機械陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計、基于表面加工wafer級真空封裝工藝，著重分析了陀螺儀中閉環(huán)自振蕩方法、角速率信號解調(diào)算法及電路實現(xiàn)，最后對微機械陀螺振蕩品質(zhì)因子、分辨率、工作帶寬、靈敏度和線性度等關(guān)鍵參數(shù)的測試方法作了詳細的分析和闡述。 本書可供高等院校有關(guān)專業(yè)作為研究生教材或參考書，也可供科研人員和工程技術(shù)人員作為技術(shù)參考書。