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本書概要地介紹MEMS的設(shè)計(jì)與制造，全書共分7章，內(nèi)容包括：MEMS的概論，MEMS的設(shè)計(jì)，集成電路（IC）基本制造技術(shù)，MEMS的制作技術(shù)，微傳感器，微執(zhí)行器以及MEMS的應(yīng)用及檢測(cè)技術(shù)。本書針對(duì)非微電子專業(yè)的高年紀(jì)本科生和研究生學(xué)習(xí)MEMS技術(shù)之用。通過對(duì)本書的學(xué)習(xí)，使讀者能夠在集成電路制造技術(shù)方面，獲得必要的知識(shí)，同時(shí)對(duì)MEMS的設(shè)計(jì)與制造有一個(gè)比較完整的了解，為開展MEMS的研究奠定了必要的基礎(chǔ)。