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微機電系統(tǒng)（MEMS）具有尺寸微小、片內集成、批量制造、材料寬泛的技術特征，因而成為先進傳感器技術的主流發(fā)展方向。微型化、智能化和網(wǎng)絡化的壓力傳感器在高端裝備、智能制造、機器人、物聯(lián)網(wǎng)等新興領域具有很大的應用潛力。 本書將作者團隊多年來在該領域的科研積累融為一爐，從相關基礎理論出發(fā)，論述了MEMS壓力傳感器的主流工藝、器件靜動態(tài)測試、芯片電路等關鍵技術，并詳細討論了多種原創(chuàng)、特種、高端的MEMS壓力傳感器件，對我國MEMS壓力傳感器的科研和產(chǎn)業(yè)發(fā)展將產(chǎn)生巨大的推動作用。本書適合MEMS及傳感器領域的研究生、高年級本科生以及廣大科研人員閱讀和參考。