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MEMS光纖聲壓傳感器技術 
定 價：99 元
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9 7 6 8 9 7 3 0 2 3 7 0 3 讀者對象:從事光纖聲壓傳感器相關技術人員以及高等院校相關專業(yè)的教師、高年級學生及研究生。
本書首先介紹MEMS光纖聲壓傳感器的結構特征、發(fā)展歷程和應用前景；其次根據(jù)MEMS光纖聲壓傳感器的工作原理，分別從光學和力學兩個角度進行詳細的介紹與分析；然后從制作角度介紹傳感器的膜片加工和結構封裝；最后對傳感器的性能進行詳細的測試。
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