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集成電路與光刻機 
定 價：58 元
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9 7 6 8 5 7 7 0 9 3 2 0 3 讀者對象:本書主要為企業(yè)、高校和科研院所從事高端光刻機研發(fā)的科研人員提供參考，也可供相關(guān)研究方向的學(xué)生閱讀，也適合對光刻機感興趣的大眾。
光刻機是集成電路制造的核心裝備，直接決定了集成電路的微細(xì)化水平。本書介紹了集成電路與光刻機的發(fā)展歷程；重點介紹了光刻機整機、分系統(tǒng)與曝光光源的主要功能、基本結(jié)構(gòu)、工作原理、關(guān)鍵技術(shù)等；簡要介紹了計算光刻技術(shù)；最后介紹了光刻機成像質(zhì)量的提升與光刻機整機、分系統(tǒng)的技術(shù)進步。
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