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目 錄 
第1章 現(xiàn)代應用光學基礎理論概述 1 
1．1 概述 1 
1．1．1 本書的背景 1 
1．1．2 本書的內容安排 1 
1．2 光學系統(tǒng)設計中常用的光學材料特征參數 2 
1．2．1 光學材料的光學參量 2 
1．2．2 熱系數及溫度變化效應的消除 4 
1．2．3 其他玻璃數據 4 
1．3 新型光學材料 5 
1．3．1 新型光學材料概述 5 
1．3．2 光學材料發(fā)展概況 6 
1．4 液晶材料及液晶顯示器 12 
1．4．1 液晶材料及其分類 12 
1．4．2 常用液晶顯示器件的基本結構和工作原理 16 
1．4．3 STN-LCD技術 27 
1．4．4 液晶光閥技術 32 
1．4．5 硅上液晶（LCoS）反射式顯示器 36 
1．4．6 光計算用SLM 38 
1．5 電光源和光電探測器 38 
1．5．1 電光源 38 
1．5．2 激光器 41 
1．5．3 光電導探測器 48 
1．5．4 光伏探測器 49 
1．5．5 位敏探測器 53 
1．5．6 陣列型光電探測器 56 
1．6 波像差像質評價基礎知識 59 
1．6．1 光學系統(tǒng)像差的坐標及符號規(guī)則 59 
1．6．2 無像差成像概念和完善鏡頭聚焦衍射模式 60 
參考文獻 63 
第2章 光學非球面的應用 67 
2．1 概述 67 
2．2 非球面曲面方程 67 
2．2．1 旋轉對稱的非球面方程 67 
2．2．2 圓錐曲線的意義 68 
2．2．3 其他常見非球面方程 70 
2．2．4 非球面的法線和曲率 71 
2．3 非球面的初級像差 71 
2．3．1 波像差及其與垂軸像差的關系 71 
2．3．2 非球面的初級像差 73 
2．3．3 折射錐面軸上物點波像差 75 
2．3．4 折射錐面軸外物點波像差 76 
2．4 微振（perturbed）光學系統(tǒng)的初級像差計算 77 
2．4．1 偏心（decentered）光學面 78 
2．4．2 光學面的傾斜 80 
2．4．3 間隔失調（despace）面 81 
2．5 兩鏡系統(tǒng)的理論基礎 82 
2．5．1 兩鏡系統(tǒng)的基本結構形式 82 
2．5．2 單色像差的表示式 82 
2．5．3 消像差條件式 84 
2．5．4 常用的兩鏡系統(tǒng) 85 
2．6 二次圓錐曲面及其衍生高次項曲面 86 
2．6．1 消球差的等光程折射非球面 86 
2．6．2 經典卡塞格林系統(tǒng) 87 
2．6．3 格里高里系統(tǒng) 88 
2．6．4 只消球差的其他特種情況 88 
2．6．5 R-C（Ritchey-Chrétien）系統(tǒng)及馬克蘇托夫系統(tǒng) 89 
2．6．6 等暈系統(tǒng)的特殊情況 90 
2．6．7 庫特（Cuder）系統(tǒng)及同心系統(tǒng) 91 
2．6．8 史瓦希爾德（Schwarzschield）系統(tǒng) 92 
2．6．9 一個消四種初級像差 的系統(tǒng) 93 
2．6．10 無焦系統(tǒng) 93 
2．7 兩鏡系統(tǒng)的具體設計過程 93 
2．7．1 R-C系統(tǒng)的設計 93 
2．7．2 格里高里系統(tǒng)與卡塞格林系統(tǒng) 94 
2．8 施密特光學系統(tǒng)設計 95 
2．8．1 施密特光學系統(tǒng)的初級像差 95 
2．8．2 施密特校正器的精確計算法 98 
2．9 三反射鏡系統(tǒng)設計示例 99 
2．9．1 設計原則 99 
2．9．2 設計過程分析 100 
2．9．3 設計示例 101 
參考文獻 103 
第3章 衍射光學元件 105 
3．1 概述 105 
3．1．1 菲涅耳圓孔衍射――菲涅耳波帶法 106 
3．1．2 菲涅耳圓孔衍射的特點 108 
3．1．3 菲涅耳圓屏衍射 109 
3．2 波帶片 110 
3．2．1 菲涅耳波帶片 110 
3．2．2 相位型菲涅耳波帶片 112 
3．2．3 條形或方形波帶片 113 
3．3 衍射光學器件衍射效率 113 
3．3．1 鋸齒形一維相位光柵的衍射效率 113 
3．3．2 臺階狀（二元光學）相位光柵的衍射效率及其計算 114 
3．4 通過衍射面的光線光路計算 115 
3．5 衍射光學系統(tǒng)初級像差 118 
3．5．1 衍射光學透鏡的單色初級像差特性 118 
3．5．2 折衍混合成像系統(tǒng)中衍射結構的高折射率模型及PWC描述 121 
3．5．3 P∞、W∞、C與折衍混合單透鏡結構的函數關系 122 
3．6 折衍光學透鏡的色散性質及色差的校正 123 
3．6．1 折衍光學透鏡的等效阿貝數ν 123 
3．6．2 用DOL實現(xiàn)消色差 124 
3．6．3 折衍光學透鏡的部分色散及二級光譜的校正 125 
3．7 衍射透鏡的熱變形特性 127 
3．7．1 光熱膨脹系數 127 
3．7．2 消熱變形光學系統(tǒng)的設計 129 
3．7．3 折衍混合系統(tǒng)消熱差系統(tǒng)設計示例 130 
3．8 衍射面的相位分布函數 132 
3．8．1 用于平衡像差的衍射面的相位分布函數 132 
3．8．2 用于平衡熱像差的衍射面的相位分布函數 133 
3．9 多層衍射光學元件（multi-layer diffractive optical elements） 133 
3．9．1 多層衍射光學元件的理論分析 134 
3．9．2 多層衍射光學元件的結構 134 
3．9．3 多層衍射光學元件材料的選擇 134 
3．9．4 多層衍射光學元件的衍射效率 135 
3．9．5 多層衍射光學元件在成像光學系統(tǒng)中的應用舉例 136 
3．10 諧衍射透鏡（HDL）及其成像特點 137 
3．10．1 諧衍射透鏡 137 
3．10．2 諧衍射透鏡的特點 137 
3．10．3 單片諧衍射透鏡成像 138 
3．10．4 諧衍射/折射太赫茲多波段成像系統(tǒng)設計示例 139 
3．11 衍射光學軸錐鏡（簡稱衍射軸錐鏡） 143 
3．11．1 衍射軸錐鏡 143 
3．11．2 設計原理和方法 144 
參考文獻 150 
第4章 非對稱光學系統(tǒng)像差理論 153 
4．1 波像差與Zernike多項式概述 153 
4．1．1 波前像差理論概述 153 
4．1．2 角向、橫向和縱向像差 154 
4．1．3 Seidel像差的波前像差表示 155 
4．1．4 澤尼克（Zernike）多項式 162 
4．1．5 條紋（fringe）Zernike系數 164 
4．1．6 波前像差的綜合評價指標 165 
4．1．7 色差 167 
4．1．8 典型光學元件的像差特性 167 
4．2 非對稱旋轉成像光學系統(tǒng)中像差理論 174 
4．2．1 重要概念簡介 174 
4．2．2 傾斜非球面光學面處理 176 
4．2．3 局部坐標系統(tǒng)（LCS）近軸光方法計算單個光學面像差場中心 176 
4．2．4 OAR的參數化 179 
4．2．5 傾斜和偏心的光學面的定位像差場對稱中心矢量（像差場偏移量的推導） 181 
4．2．6 基于實際光線計算單個面的像差場中心 182 
4．2．7 失調光學系統(tǒng)的波像差表示式 183 
4．2．8 舉例：LCS近軸計算與其實際光線等價計算的比較 185 
4．3 近圓光瞳非對稱光學系統(tǒng)三級像差的描述 187 
4．3．1 光學系統(tǒng)的像差場為各個面的貢獻之和 187 
4．3．2 帶有近圓光瞳的非旋轉對稱光學系統(tǒng)中的三級像差 187 
4．3．3 節(jié)點像差場 191 
4．3．4 波前誤差以及光線的橫向像差 194 
4．3．5 非對稱光學系統(tǒng)中的三級畸變 195 
4．4 非旋轉對稱光學系統(tǒng)的多節(jié)點五級像差：球差 197 
4．4．1 非旋轉對稱光學系統(tǒng)像差概述 197 
4．4．2 非旋轉對稱光學系統(tǒng)的五級像差 198 
4．4．3 五級像差的特征節(jié)點行為：球差族包括的各項 199 
參考文獻 203 
第5章 光學自由曲面的應用 205 
5．1 光學自由曲面概述 205 
5．2 參數曲線和曲面 206 
5．2．1 曲線和曲面的參數表示 206 
5．2．2 參數曲線的代數和幾何形式 210 
5．3 Bézier曲線與曲面 212 
5．3．1 Bézier曲線的數學描述和性質 212 
5．3．2 Bézier曲面 215 
5．4 B樣條（B-spline）曲線與曲面 217 
5．4．1 B樣條曲線的數學描述和性質 217 
5．4．2 B樣條曲線的性質 219 
5．4．3 B樣條曲面的表示 220 
5．5 雙三次均勻B樣條曲面 221 
5．5．1 B 樣條曲面 221 
5．5．2 雙三次均勻B樣條曲面的矩陣公式 223 
5．6 非均勻有理B樣條（NURBS）曲線與曲面 224 
5．6．1 NURBS曲線與曲面 224 
5．6．2 NURBS曲線的定義 224 
5．6．3 NURBS表示 226 
5．6．4 非均勻有理B樣條曲面 228 
5．7 Coons曲面 229 
5．7．1 基本概念 229 
5．7．2 雙線性Coons曲面 230 
5．7．3 雙三次Coons曲面 231 
5．8 自由曲面棱鏡光學系統(tǒng) 232 
5．8．1 自由曲面棱鏡概述 232 
5．8．2 矢量像差理論及初始結構確定方法 233 
5．8．3 自由曲面棱鏡設計 236 
5．8．4 用光學設計軟件設計含自由曲面的光學系統(tǒng) 238 
參考文獻 239 
第6章 共形光學系統(tǒng) 241 
6．1 概述 241 
6．1．1 共形光學系統(tǒng)的一般要求 241 
6．1．2 共形光學系統(tǒng)的主要參量 244 
6．1．3 共形光學系統(tǒng)中的像差校正 250 
6．1．4 共形光學系統(tǒng)實際應用須考慮的問題 252 
6．2 橢球整流罩的幾何特性及消像差條件在共形光學系統(tǒng)中的應用 253 
6．2．1 橢球面幾何特性分析 253 
6．2．2 橢球整流罩的幾何特性 256 
6．2．3 利用矢量像差理論分析橢球整流罩結構的像差特性 258 
6．3 基于Wassermann-Wolf方程的共形光學系統(tǒng)設計 259 
6．3．1 共形光學系統(tǒng)解決像差動態(tài)變化的方法概述 259 
6．3．2 共形光學系統(tǒng)的像差分析 260 
6．3．3 Wassermann-Wolf非球面理論 261 
6．3．4 利用Wassermann-Wolf原理設計共形光學系統(tǒng) 265 
6．4 折/反射橢球形整流罩光學系統(tǒng)的設計 268 
6．4．1 折/反射橢球形整流罩光學系統(tǒng)的設計原則 269 
6．4．2 橢球形整流罩像差分析 269 
6．4．3 兩鏡校正系統(tǒng)初始結構設計原理 269 
6．4．4 用平面對稱矢量像差理論分析光學系統(tǒng)像差特性 274 
6．4．5 設計結果 275 
6．5 共形光學系統(tǒng)的動態(tài)像差校正技術 276 
6．5．1 共形光學系統(tǒng)的固定校正器 276 
6．5．2 弧形校正器 278 
6．5．3 基于軸向移動柱面―澤尼克校正元件的動態(tài)像差校正技術 280 
6．6 二元光學元件在橢球整流罩導引頭光學系統(tǒng)中的應用 283 
6．6．1 二元光學元件的光學特性 284 
6．6．2 二元衍射光學元件在橢球形整流罩導引頭光學系統(tǒng)中的應用 286 
6．6．3 利用衍/射光學元件進行共形整流罩像差校正的研究 288 
6．6．4 折/衍混合消熱差共形光學系統(tǒng)的設計 291 
6．7 利用自由曲面進行微變焦共形光學系統(tǒng)設計 295 
6．7．1 自由曲面進行微變焦共形光學系統(tǒng)的特點 295 
6．7．2 利用自由曲面的像差校正方法 295 
6．8 基于實際光線追跡的共形光學系統(tǒng)設計概述 298 
6．8．1 實際光線追跡設計方法可在共形光學系統(tǒng)整個觀察視場內得到較好像質 298 
6．8．2 實際光線追跡方法概述 299 
參考文獻 302 
第7章 非成像光學系統(tǒng) 308 
7．1 引言 308 
7．1．1 太陽能熱發(fā)電技術簡介 308 
7．1．2 太陽能光伏發(fā)電 311 
7．1．3 照明非成像光學 312 
7．2 非成像光學概述 314 
7．2．1 非成像會聚器特性 314 
7．2．2 光學擴展不變量 314 
7．2．3 會聚度的定義 315 
7．3 會聚器理論中的一些幾何光學概念 316 
7．3．1 光學擴展量的幾何光學概念 316 
7．3．2 在成像光學系統(tǒng)中像差對會聚度的影響 317 
7．3．3 光學擴展量（拉氏不變量）和相空間的廣義概念 318 
7．3．4 斜不變量 320 
7．4 非成像光學的邊緣光線原理 322 
7．4．1 邊緣光線原理 322 
7．4．2 邊緣光線原理應用――“拉線”方法 322 
7．5 復合拋物面會聚器（CPC） 324 
7．5．1 光錐會聚器 324 
7．5．2 復合拋物面會聚器（CPC）概述 324 
7．5．3 復合拋物面會聚器的性質 326 
7．5．4 增加復合拋物面會聚器的最大會聚角 328 
7．6 同步多曲面設計方法 331 
7．6．1 SMS方法設計會聚器概述 331 
7．6．2 一個非成像透鏡的設計：RR會聚器 332 
7．6．3 XR會聚器 335 
7．6．4 RX會聚器 337 
7．7 XX類會聚器 340 
7．7．1 XX類會聚器的原理 340 
7．7．2 RX1會聚器 341 
7．7．3 RX1會聚器的三維分析 341 
7．8 非成像光學用于LED照明 343 
7．8．1 邊緣光線擴展度守恒原理和控制網格算法 344 
7．8．2 LED的非成像光學系統(tǒng)設計實例 346 
7．8．3 大范圍照明光源設計（二維給定光分布設計） 347 
7．9 非成像光學用于LED均勻照明的自由曲面透鏡 348 
7．9．1 均勻照明的自由曲面透鏡概述 348 
7．9．2 LED浸沒式自由曲面透鏡設計方法 349 
7．9．3 設計示例 351 
參考文獻 353 
第8章 光電光學系統(tǒng)中緊湊型照相光學系統(tǒng)設計 356 
8．1 概述 356 
8．1．1 數碼相機的組成 356 
8．1．2 數碼相機中圖像傳感器CCD和CMOS的比較 357 
8．1．3 數碼相機的分類 359 
8．1．4 數碼相機的光學性能 364 
8．1．5 數碼相機鏡頭的分類和特點 365 
8．2 數碼相機鏡頭設計示例 367 
8．2．1 球面定焦距鏡頭設計示例 367 
8．2．2 非球面定焦距鏡頭設計示例 370 
8．3 變焦距鏡頭設計示例 372 
8．3．1 變焦透鏡組原理 373 
8．3．2 非球面變倍鏡頭初始數據 373 
8．3．3 折疊式（潛望式）變焦鏡頭示例 376 
8．4 手機照相光學系統(tǒng) 378 
8．4．1 手機照相光學系統(tǒng)概述 378 
8．4．2 兩片型非球面手機物鏡設計示例 379 
8．4．3 三片型手機物鏡設計 382 
8．5 手機鏡頭新技術概述 385 
8．5．1 自由曲面在手機鏡頭中的應用 385 
8．5．2 液體鏡頭 385 
8．6 魚眼鏡頭概述 388 
8．6．1 魚眼鏡頭是“仿生學的示例” 388 
8．6．2 魚眼鏡頭基本結構的像差校正 390 
8．6．3 魚眼鏡頭基本光學結構的演變 391 
8．6．4 魚眼鏡頭的發(fā)展 391 
8．6．5 魚眼鏡頭的光學性能 393 
8．6．6 光闌球差與入瞳位置的確定 396 
8．6．7 光闌彗差與像差漸暈 398 
8．6．8 魚眼鏡頭示例與投影方式比較 399 
參考文獻 402 
第9章 光學系統(tǒng)焦深的擴展與衍射極限的突破 405 
9．1 概述 405 
9．1．1 擴展焦深概述 405 
9．1．2 超衍射極限近場顯微術概述 409 
9．1．3 遠場超分辨成像 418 
9．2 光學成像系統(tǒng)景深的延拓 420 
9．2．1 景深延拓概述 420 
9．2．2 延拓景深的方形孔徑相位模板 425 
9．2．3 增大景深的圓對稱相位模板 438 
9．3 多環(huán)分區(qū)圓對稱相位模板設計 442 
9．3．1 多環(huán)分區(qū)圓對稱相位模板的概念 442 
9．3．2 多環(huán)分區(qū)圓對稱相位模板對應系統(tǒng)的特性 448 
9．3．3 圓對稱相位模板成像系統(tǒng)的優(yōu)缺點 450 
9．3．4 初級像差的影響以及延拓景深圖像的復原 451 
9．3．5 延拓景深相位模板系統(tǒng)的圖像復原與其光學成像系統(tǒng)的光學設計 456 
9．3．6 延拓景深光學成像系統(tǒng)的光學設計 460 
9．4 軸錐鏡（axicon）擴展焦深 468 
9．4．1 軸錐鏡 468 
9．4．2 小焦斑長焦深激光焦點的衍射軸錐鏡的設計 476 
9．5 近場光學與近場光學顯微鏡 478 
9．5．1 近場光學概念 478 
9．5．2 近場掃描光學顯微鏡（NSOM） 482 
9．6 掃描探針顯微鏡 488 
9．6．1 與隧道效應有關的顯微鏡 489 
9．6．2 原子力顯微鏡（AFM） 491 
9．6．3 掃描力顯微鏡（SFM） 495 
9．6．4 檢測材料不同組分的SFM技術 498 
9．6．5 光子掃描隧道顯微鏡（PSTM） 499 
9．7 原子力顯微鏡 504 
9．7．1 原子力顯微鏡的基本組成 504 
9．7．2 近場力 505 
9．7．3 微懸臂力學 507 
9．7．4 AFM探測器信號 508 
9．7．5 原子力顯微鏡的測量模式 509 
9．7．6 原子力顯微鏡檢測成像技術 512 
9．7．7 AFM的優(yōu)點和正在改進之處 513 
9．7．8 電力顯微鏡（EFM） 513 
9．8 遠場超高分辨率顯微術 516 
9．8．1 遠場超高分辨率顯微術概述 516 
9．8．2 4Pi顯微鏡 517 
9．8．3 3D隨機光學重建顯微鏡（STORM） 519 
9．8．4 平面光顯微鏡（SPIM）基本原理 520 
9．8．5 福斯特共振能量轉移顯微鏡（FRETM） 521 
9．8．6 全內反射熒光顯微鏡（TIRFM） 522 
9．9 衍射光學組件用于掃描雙光子顯微鏡的景深擴展 524 
9．9．1 遠場超分辨顯微鏡擴展焦深概述 524 
9．9．2 擴展焦深顯微光學系統(tǒng)設計 525 
9．9．3 掃描雙光子顯微成像系統(tǒng)的擴展景深實驗 528 
參考文獻 532 
第10章 自適應光學技術應用概述 542 
10．1 引言 542 
10．1．1 自適應光學技術的發(fā)展 542 
10．1．2 自適應光學系統(tǒng) 544 
10．1．3 自適應光學應用技術 545 
10．1．4 自適應光學在相控陣系統(tǒng)中的應用 547 
10．1．5 高能激光相控陣系統(tǒng)簡介 549 
10．2 自適應光學系統(tǒng)原理 553 
10．2．1 自適應光學概念 553 
10．2．2 共光路/共模塊自適應光學原理及衍生光路 557 
10．3 自適應光學系統(tǒng)的基本組成原理和應用 569 
10．3．1 波前傳感器 569 
10．3．2 波前校正器 578 
10．3．3 波前控制器及控制算法 584 
10．3．4 激光導星原理及系統(tǒng) 589 
10．4 天文望遠鏡及其自適應光學系統(tǒng) 601 
10．4．1 2．16 m望遠鏡及其自適應光學系統(tǒng) 601 
10．4．2 37單元自適應光學系統(tǒng) 608 
10．4．3 1．2 m望遠鏡61單元自適應光學系統(tǒng) 612 
10．5 鎖相光纖準直器的自適應陣列實驗系統(tǒng) 620 
10．5．1 概述 620 
10．5．2 光纖準直器的自適應陣列中的反饋控制 626 
10．6 陣列光束優(yōu)化式自適應光學的原理與算法 631 
10．6．1 光學相控陣技術基本概念 631 
10．6．2 優(yōu)化算法自適應光學 633 
10．6．3 陣列光束優(yōu)化式自適應光學的原理與發(fā)展 634 
10．6．4 陣列光束優(yōu)化式自適應光學算法 635 
10．7 自適應光學技術在自由空間光通信中的應用 642 
10．7．1 自由空間光通信概述 642 
10．7．2 自由空間光通信系統(tǒng)概述 643 
10．7．3 一些自由空間光通信的示例 649 
10．7．4 自適應光學結合脈沖位置調制（PPM）改善光通信性能 653 
10．7．5 無波前傳感自適應光學（AO）系統(tǒng) 656 
10．8 自由空間激光通信終端系統(tǒng)原理 659 
10．8．1 終端系統(tǒng)結構和工作原理 659 
10．8．2 激光收發(fā)子系統(tǒng) 660 
10．8．3 捕獲跟蹤瞄準（ATP）子系統(tǒng) 662 
10．8．4 光學平臺子系統(tǒng) 662 
10．8．5 衛(wèi)星終端系統(tǒng)概述 666 
10．8．6 基于自適應光學技術的星載終端光學系統(tǒng)方案示例 673 
10．9 自適應光學技術的其他典型應用舉例 675 
10．9．1 自適應光學技術在慣性約束聚變技術中的應用概述 675 
10．9．2 自適應光學用于月球激光測距 679 
10．9．3 自適應光學系統(tǒng)在戰(zhàn)術激光武器中的應用簡介 682 
10．9．4 自適應光學在醫(yī)學眼科成像中的應用 689 
參考文獻 696 
第11章 微納投影光刻技術導論 711 
11．1 引言 711 
11．2 光刻離軸照明技術 717 
11．3 投影光刻掩模誤差補償 721 
11．4 投影光刻相移掩模 728 
11．5 電子投影光刻（EPL） 735 
11．6 離子束曝光技術 750 
11．7 納米壓印光刻（NIL）技術 754 
參考文獻 761 
第12章 投影光刻物鏡 769 
12．1 概述 769 
12．1．1 光刻技術簡介 769 
12．1．2 提高光刻機性能的關鍵技術 769 
12．1．3 ArF光刻機研發(fā)進展 771 
12．1．4 下一代光刻技術的研究進展 772 
12．2 投影光刻物鏡的光學參量 772 
12．2．1 投影光刻物鏡的光學特征 772 
12．2．2 工作波長與光學材料 774 
12．3 投影光刻物鏡結構形式 784 
12．3．1 折射式投影物鏡結構形式 784 
12．3．2 折射式光刻投影物鏡 785 
12．3．3 深紫外（DUV）投影光刻物鏡設計要求 786 
12．3．4 深紫外（DUV）非球面的投影光刻物鏡 786 
12．3．5 光闌移動對投影光刻物鏡尺寸的影響 787 
12．4 光刻物鏡的像質評價 788 
12．4．1 波像差與分辨率 788 
12．4．2 基于Zernike多項式的波像差分解 791 
12．4．3 條紋Zernike多項式的不足與擴展 794 
12．5 運動學安裝機理與物鏡像質精修 795 
12．5．1 運動學安裝機理 795 
12．5．2 物鏡像質精修 796 
12．5．3 投影光刻物鏡的像質補償 796 
12．6 進一步擴展NA 801 
12．6．1 用Rayleigh公式中的因子擴展NA 801 
12．6．2 非球面的引入 802 
12．6．3 反射光學元件的引入 802 
12．6．4 兩次曝光或兩次圖形曝光技術 803 
12．7 浸沒式光刻技術 803 
12．7．1 浸沒式光刻的原理 803 
12．7．2 浸沒液體 804 
12．7．3 浸沒式大數值孔徑投影光刻物鏡 805 
12．7．4 偏振光照明 806 
12．7．5 投影光刻物鏡的將來趨勢 808 
12．8 極紫外（EUV）光刻系統(tǒng) 810 
12．8．1 極紫外（EUV）光源 810 
12．8．2 EUVL（extreme ultraviolet lithography）投影光刻系統(tǒng)的主要技術要求 813 
12．8．3 兩鏡EUV投影光刻物鏡 815 
12．8．4 ETS 4鏡原型機 819 
12．9 EUVL6鏡投影光學系統(tǒng)設計 820 
12．9．1 非球面6鏡投影光學系統(tǒng)結構 820 
12．9．2 分組設計法――漸進式優(yōu)化設計6片（22 nm技術節(jié)點） 
反射式非球面投影光刻物鏡 821 
12．9．3 EUVL照明系統(tǒng)設計要求 825 
12．10 鞍點構建方法用于光刻物鏡設計 827 
12．10．1 構建鞍點的價值函數的基本性質 827 
12．10．2 鞍點構建 828 
12．10．3 DUV光刻物鏡的樞紐 830 
12．10．4 深紫外（DUV）光刻物鏡設計舉例 832 
12．10．5 用鞍點構建方法設計EUV投影光刻系統(tǒng) 835 
12．10．6 極紫外（EUV）光刻物鏡舉例 836 
12．10．7 鞍點構建設計方法中加入非球面設計概述 837 
參考文獻 840 
第13章 表面等離子體納米光子學應用 850 
13．1 表面等離子體概述 850 
13．1．1 表面等離子體相關概念 850 
13．1．2 表面等離子體激發(fā)方式 852 
13．2 SPP產生條件和色散關系 854 
13．2．1 電荷密度波（CWD）與激發(fā)SPP的條件 854 
13．2．2 介電質/金屬結構中典型的SPP色散曲線 856 
13．3 SPP的特征長度 858 
13．3．1 概述 858 
13．3．2 SPP的波長λSPP 859 
13．3．3 SPP的傳播距離δSPP 860 
13．3．4 實驗 862 
13．3．5 SPP場的穿透深度δd和δm 863 
13．4 SPP的透射增強 864 
13．4．1 透射增強 864 
13．4．2 圍繞單孔的同心環(huán)槽狀結構 865 
13．4．3 平行于單狹縫的對稱線性槽陣列 866 
13．5 突破衍射極限的超高分辨率成像和銀超透鏡的超衍射極限成像 867 
13．5．1 超透鏡的構成 867 
13．5．2 銀超透鏡 868 
13．5．3 銀超透鏡成像實驗 869 
13．6 SPP納米光刻技術 870 
13．6．1 表面等離子體共振干涉納米光刻技術 870 
13．6．2 基于背面曝光的無掩模表面等離子體激元干涉光刻 871 
13．6．3 在納米球―金屬表面系統(tǒng)中激發(fā)間隙模式用于亞30 nm表面等離子體激元光刻 873 
13．6．4 用介電質―金屬多層結構等離子體干涉光刻 875 
13．7 高分辨率并行寫入無掩模等離子體光刻 879 
13．7．1 無掩模等離子體光刻概述 879 
13．7．2 傳播等離子體（PSP）和局域等離子體（LSP） 879 
13．7．3 納米等離子體光刻漸進式多階聚焦方案 880 
參考文獻 885 
第14章 干涉技術與光電系統(tǒng) 892 
14．1 概述 892 
14．1．1 經典干涉理論 892 
14．1．2 光的相干性 893 
14．1．3 常用的激光器及其相干性 894 
14．2 傳統(tǒng)干涉儀的光學結構 897 
14．2．1 邁克爾遜（Michelson）干涉儀 897 
14．2．2 斐索（Fizeau）干涉儀 898 
14．2．3 泰曼-格林（Twyman-Green）干涉儀 899 
14．2．4 雅敏（Jamin）干涉儀 900 
14．2．5 馬赫-曾德（Mach-Zehnder）干涉儀 901 
14．3 激光干涉儀的光學結構 901 
14．3．1 激光偏振干涉儀 902 
14．3．2 激光外差干涉儀 904 
14．3．3 半導體激光干涉儀光學系統(tǒng) 906 
14．3．4 激光光柵干涉儀光學系統(tǒng) 907 
14．3．5 激光多波長干涉儀 912 
14．3．6 紅外激光干涉儀 916 
14．3．7 雙頻激光干涉儀 919 
14．4 波面與波形干涉系統(tǒng)光學結構 921 
14．4．1 棱鏡透鏡干涉儀光學系統(tǒng) 922 
14．4．2 波前剪切干涉儀 923 
14．4．3 三光束干涉儀與多光束干涉儀 926 
14．4．4 數字波面干涉系統(tǒng) 928 
14．4．5 錐度的干涉測量光學結構 930 
14．5 表面微觀形貌的干涉測量系統(tǒng) 931 
14．5．1 相移干涉儀光學結構 931 
14．5．2 鎖相干涉儀光學結構 931 
14．5．3 干涉顯微系統(tǒng)光學結構 933 
14．5．4 雙焦干涉顯微鏡光學結構 936 
14．6 亞納米檢測干涉光學系統(tǒng) 937 
14．6．1 零差檢測干涉系統(tǒng) 937 
14．6．2 外差檢測干涉系統(tǒng) 939 
14．6．3 自混頻檢測系統(tǒng) 940 
14．6．4 自適應檢測系統(tǒng) 942 
14．7 X射線干涉儀系統(tǒng)光學結構 943 
14．7．1 X射線干涉儀的特點 943 
14．7．2 X射線干涉儀的原理 944 
14．7．3 X射線干涉儀的應用 944 
14．8 瞬態(tài)光電干涉系統(tǒng) 945 
14．8．1 瞬態(tài)干涉光源 945 
14．8．2 序列脈沖激光的高速記錄 946 
14．9 數字全息干涉儀光學結構 948 
14．10 光纖干涉光學系統(tǒng) 952 
14．10．1 光纖干涉基本原理 952 
14．10．2 光纖干涉光學系統(tǒng)結構 952 
14．10．3 Sagnac干涉儀：光纖陀螺儀和激光陀螺儀 957 
14．10．4 微分干涉儀光學結構 959 
14．10．5 全保偏光纖邁克爾遜干涉儀光學結構 961 
14．10．6 三光束光纖干涉儀光學結構 962 
14．10．7 全光纖白光干涉儀光學結構 963 
14．10．8 相位解調技術 965 
參考文獻 969 
第15章 光電光譜儀與分光光學系統(tǒng)設計 972 
15．1 光譜與光譜分析概述 972 
15．1．1 光譜的形成和特點 972 
15．1．2 光譜儀器 975 
15．1．3 光譜分析 977 
15．2 光電光譜儀器的色散系統(tǒng) 978 
15．2．1 棱鏡系統(tǒng) 978 
15．2．2 平面衍射光柵 983 
15．2．3 凹面衍射光柵 989 
15．2．4 階梯光柵 992 
15．3 光電光譜儀器的光學系統(tǒng)設計 993 
15．3．1 常用的光譜儀器光學系統(tǒng) 993 
15．3．2 光譜儀器光學系統(tǒng)的初級像差 994 
15．3．3 光譜儀器光學系統(tǒng)的像差校正 997 
15．3．4 反射式準直和成像系統(tǒng)的像差 998 
15．3．5 常用平面光柵裝置類型 1001 
15．3．6 凹面光柵光譜裝置光學系統(tǒng) 1007 
15．4 典型光電光譜儀器光學系統(tǒng)設計 1008 
15．4．1 攝譜儀和光電直讀光譜儀光學系統(tǒng)設計 1008 
15．4．2 單色儀和分光光度計光學系統(tǒng)設計 1015 
15．4．3 干涉光譜儀光學系統(tǒng)設計 1027 
15．5 激光光譜儀光學系統(tǒng)設計 1030 
15．5．1 激光光譜儀 1030 
15．5．2 傅里葉變換光譜儀光學系統(tǒng)設計 1032 
15．5．3 光譜成像儀光學系統(tǒng)設計 1039 
參考文獻 1042 
第16章 光波的偏振態(tài)及其應用 1043 
16．1 光波的偏振態(tài) 1043 
16．1．1 橢圓偏振電磁場 1044 
16．1．2 線偏振和圓偏振電磁場 1045 
16．1．3 偏振光的描述 1046 
16．1．4 偏振光的分解 1051 
16．1．5 瓊斯矩陣與穆勒矩陣（Mueller matrix） 1052 
16．2 偏振光學元件 1056 
16．2．1 偏振片 1056 
16．2．2 偏振棱鏡 1062 
16．2．3 退偏器 1067 
16．3 偏振棱鏡設計與應用示例 1070 
16．3．1 偏振耦合測試系統(tǒng)中偏振棱鏡的設計 1070 
16．3．2 高透射比偏光棱鏡 1073 
16．3．3 高功率YVO4晶體偏振棱鏡 1075 
16．4 相位延遲器 1077 
16．4．1 相位延遲器概述 1077 
16．4．2 雙折射型消色差相位延遲器 1078 
16．4．3 全反射型消色差相位延遲器原理 1080 
16．5 偏振光學用于水下成像 1085 
16．5．1 斯托克斯（Stokes）矢量法 1085 
16．5．2 水下偏振圖像采集光學系統(tǒng)的設計 1088 
16．5．3 斯托克斯圖像的測量方案 1091 
16．6 橢圓偏振薄膜測厚技術 1095 
16．6．1 薄膜測量方法概述 1095 
16．6．2 橢偏測量技術的特點和原理 1096 
16．6．3 橢偏測量系統(tǒng)類型 1097 
16．6．4 干涉式橢偏測量技術 1100 
16．6．5 外差干涉橢圓偏振測量原理及光學系統(tǒng) 1102 
16．6．6 外差橢偏測量儀 1106 
16．7 基于斯托克斯矢量的偏振成像儀器 1109 
16．7．1 斯托克斯矢量偏振成像儀器概述 1109 
16．7．2 多角度偏振輻射計 1114 
16．8 共模抑制干涉及其應用 1118 
16．8．1 共模抑制干涉技術概述 1118 
16．8．2 偏振光在零差激光干涉儀中的應用 1122 
16．8．3 利用偏振干涉原理測量表面粗糙度的方法 1126 
16．8．4 光功率計分辨率對測量結果的影響 1130 
16．8．5 在線測量表面粗糙度的共光路激光外差干涉儀 1132 
參考文獻 1134